技術編號:7174702
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是有關于一種半導體存儲器元件,且特別是有關于一種。背景技術 在非揮發(fā)性存儲器的制造過程中,包括氧化硅/氮化硅/氧化硅(Oxide/Nitride/Oxide,ONO)的電子陷入層(Electron Trap Layer)很容易在形成外圍元件時受到損壞。一般而言,若非揮發(fā)性存儲器存儲單元與ONO層在外圍元件的互補金氧半導體晶體管(ComplementaryMetal-Oxide Semiconductor,CMOS)工藝之后才形成,則暴露的存儲單元會因...
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