技術(shù)編號(hào):7166008
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明設(shè)計(jì)半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的一種監(jiān)控方法,尤其是一種能使產(chǎn)品良率提高的半導(dǎo)體制程中的設(shè)備監(jiān)控方法。背景技術(shù)半導(dǎo)體集成電路的制造涉及數(shù)百個(gè)工藝步驟,這些步驟的任何一個(gè)脫離監(jiān)控即使其他步驟都做了很好的控制還是有可能導(dǎo)致最終的產(chǎn)品失效。因此,監(jiān)控每一個(gè)工藝步驟, 并有早期預(yù)警是半導(dǎo)體集成工藝的關(guān)鍵問題之一。傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工廠采用離線監(jiān)控和在線監(jiān)控這兩種監(jiān)控形式在操作過程中的檢查設(shè)備的性能。但是,上述兩種監(jiān)控形式都有局限性和風(fēng)險(xiǎn)期間,從而給生產(chǎn)帶來不確定性。離線監(jiān)控只...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。