技術(shù)編號：7161864
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件。本發(fā)明還涉及這種半導(dǎo)體器件的制造方法。背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體集成電路的發(fā)展，對于半導(dǎo)體器件的性能、特別是器件的速度提出了更高的要求。為了改善半導(dǎo)體器件的性能，已經(jīng)提出了在半導(dǎo)體器件中、比如晶體管的溝道中引入機械應(yīng)力的技術(shù)。這些引入應(yīng)力的技術(shù)包括在頂部使用應(yīng)力襯層(liner)以及在源/漏區(qū)中嵌入半導(dǎo)體。然而，這些引入應(yīng)力的技術(shù)增加了半導(dǎo)體器件制造工藝的復(fù)雜度，同時由于工藝限制而不能應(yīng)用于各種集成電路中。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的其中一個目的是克...
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