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具有帶改進耦合比的浮柵和耦合柵的非易失性存儲器單元的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7160414

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本發(fā)明涉及具有浮柵和耦合柵的非易失性存儲器單元,其中浮柵與耦合柵之間的耦合比增加。背景技術(shù)具有其上存儲電荷的浮柵的非易失性存儲器單元是本領(lǐng)域眾所周知的。參照圖1,示出現(xiàn)有技術(shù)的非易失性存儲器單元10的截面圖。存儲器單元10包括第一導(dǎo)電類型、如P型的半導(dǎo)體襯底12。在襯底12的表面處或附近是第二導(dǎo)電類型、如N型的第一區(qū)域14。與第一區(qū)域14間隔開的是也為第二導(dǎo)電類型的第二區(qū)域16。在第一區(qū)域14與第二區(qū)域16之間是溝道區(qū)18。由多晶硅制成的字線20定位在溝道...
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