技術編號：7158585
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本公開涉及半導體器件及制造其的方法，更具體地，涉及包括互連結構的半導體器件及制造其的方法。背景技術半導體器件可以分為例如存儲邏輯數(shù)據(jù)的存儲器件、對于邏輯數(shù)據(jù)執(zhí)行邏輯運算的邏輯器件以及混合半導體器件?；旌习雽w器件可以包括例如存儲元件和邏輯元件。隨著電子器件的高速運行和低功耗的趨勢，嵌入這些電子器件中的半導體器件會要求運行速度快和/或操作電壓低。發(fā)明內容根據(jù)示范實施方式，形成非易失存儲器件的方法包括提供設置在第一絕緣層中并設置在半導體基板上的導電柱；在第一絕...
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