技術(shù)編號：7147983
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在處理槽內(nèi)處理多個基板的技術(shù)。背景技術(shù)一直以來，采用在處理槽內(nèi)對多個基板進(jìn)行清洗、蝕刻、抗蝕膜剝離等處理的基板處理裝置。作為這樣的基板處理裝置，已知如下裝置，即，在處理槽內(nèi)貯存硫酸過氧化氫水溶液(Sulfuric Acid/Hydrogen Peroxide/ffaterMixture,下面稱為“SPM溶液”)，并使多個基板同時浸潰(例如參照日本特開2007-49022號公報)。另外，還已知如下基板水洗方法，即，將藥液處理后的基板放入水洗槽內(nèi)，一...
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