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半導(dǎo)體器件及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7142931

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件以及用于制造該半導(dǎo)體器件的制造方法,更加具體來(lái)說,涉及一種包括具有控制柵極和浮置柵極的晶體管的半導(dǎo)體器件,以及用于制造該半導(dǎo)體器件的制造方法。背景技術(shù) 一種典型的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器被稱為DRAM(動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)。DRAM是一種半導(dǎo)體存儲(chǔ)器,其在包括一個(gè)MISFET和一個(gè)電容器的存儲(chǔ)單元中存儲(chǔ)1位信息。DRAM具有日益小型化和增加的容量的存儲(chǔ)單元。但是,期望獲得具有更大的容量的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器。作為一種可以具有更大容量的半導(dǎo)體器件,閃存(...
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