技術(shù)編號：7138763
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種硅片的沖洗方法，屬于硅片加工的。背景技術(shù)由于硅片體積小，厚度薄，因此硅片之間極易產(chǎn)生靜電。將硅片從盒子內(nèi)倒出時，由于靜電作用，常常有硅片粘貼在盒子內(nèi)，造成硅片的浪費、傳統(tǒng)方法是采用吹風(fēng)機將這些貼在盒子內(nèi)的硅片吹出，該方法操作不方便且吹出后容易到處亂飛。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是針對以上弊端提供一種改良的氣流沖洗方法，包括恒溫處理、清潔處理、氣流沖洗、收集等步驟。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明技術(shù)方案是，包括如下步驟1.恒溫處理將待處理的硅...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。