技術(shù)編號(hào):7107147
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種濕制程蝕刻方法及裝置,尤其涉及一種以攪棒擾動(dòng)載具邊緣的濕制程蝕刻方法及裝置。背景技術(shù)一般在進(jìn)行濕式蝕刻時(shí),首先反應(yīng)物利用擴(kuò)散效應(yīng),通過(guò)一層薄薄的擴(kuò)散邊界層,以到達(dá)被蝕刻薄膜表面。然后,這些反應(yīng)物將與薄膜表面的分子產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),并生成各種反應(yīng)生成物。這些位于薄膜表面的反應(yīng)生成物,也將利用擴(kuò)散效應(yīng),通過(guò)擴(kuò)散邊界層到達(dá)溶液里,而后隨著溶液排出。為了增加擴(kuò)散效應(yīng),有利用磁鐵帶動(dòng)蝕刻槽底部的攪棒以攪拌蝕刻液,但此種方式僅能攪動(dòng)下層的蝕刻液,對(duì)于大面積的...
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