技術編號:7101262
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是一種用于制造耐中壓N型系列(耐壓600V,導通電流在I安培到15安培)VDMOS工藝方法,屬于半導體制成。 背景技術VDMOS 的全稱是 Vertical conduction double-diffused metal oxidesemiconductor,即垂直雙擴散金屬氧化物半導體場效應晶體管,是在1979年由H. ff. Collins等人提出的。VDMOS晶體管經過30余年的發(fā)展,目前已經取得了長足的進步。他以高的輸入阻抗、低的導通電阻和...
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