技術(shù)編號：7098920
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種蝕刻襯底的裝置，且更特定地說，涉及一種蝕刻襯底的裝置，其中蝕刻劑是從頂部向下噴射到多個垂直裝載襯底，以便隨著蝕刻劑沿襯底的表面流動而使襯底的厚度變微薄；將蝕刻劑噴射到多個垂直裝載襯底的噴射器件經(jīng)排列為可從蝕刻腔的內(nèi)部取出，以便促進(jìn)維護(hù)；且安裝到構(gòu)成噴射器件的多個噴射模塊的噴嘴的耦合位置經(jīng)改進(jìn)以防止渣滓積聚于噴嘴棒內(nèi)部。背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體和顯示設(shè)備的近期工業(yè)發(fā)展，并根據(jù)需要輕型、薄、簡單且緊密的產(chǎn)品的消費(fèi)者的需求，已迫切需要使由玻璃自身制造或呈...
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