技術(shù)編號(hào)：7098827
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域，尤其涉及一種雙層隔離混合晶向應(yīng)變硅納米線CMOS制備方法。背景技術(shù)通過縮小晶體管的尺寸來提高芯片的工作速度和集成度、減小芯片功耗密度一直是微電子工業(yè)發(fā)展所追求的目標(biāo)。在過去的四十年里，微電子工業(yè)發(fā)展一直遵循著摩爾定律。當(dāng)前的場(chǎng)效應(yīng)晶體管的物理柵長(zhǎng)已接近20nm，柵介質(zhì)也僅有幾個(gè)氧原子層厚，通過縮小傳統(tǒng)場(chǎng)效應(yīng)晶體管的尺寸來提高性能已面臨一些困難，這主要是因?yàn)樾〕叽缦露虦系佬?yīng)和柵極漏電流使晶體管的開關(guān)性能變壞。納米線場(chǎng)效應(yīng)晶體管...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。