技術(shù)編號:7098358
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種制作方法,特別是涉及一種。背景技術(shù)發(fā)光二極管是一種由半導(dǎo)體材料制作而成的發(fā)光元件,具有耗電量低、元件壽命長、反應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn),再加上體積小容易制成極小或陣列式元件的特性,因此近年來隨著技術(shù)不斷地進(jìn)步,其應(yīng)用范圍也由指示燈、背光源甚至擴(kuò)大到了照明領(lǐng)域。請參照圖1所示,其為現(xiàn)有制作發(fā)光二極管的流程示意圖。首先于一外延基板11形成具有一 n-GaN層121、一多重量子阱層122及一 ρ-GaN層123的外延結(jié)構(gòu)12,接著間隔形成具有鎳的一掩模層13...
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