技術(shù)編號(hào):7088930
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型公開了一種薄膜晶體管基板,包括一基板;以及多個(gè)薄膜晶體管單元,設(shè)置于該基板上且分別包括一有源層,設(shè)置于該基板上且該有源層的材料為多晶硅;一絕緣層,設(shè)置于該有源層上;以及一源極及一漏極,設(shè)置于該絕緣層上;其中該絕緣層包括一第一區(qū)域及一第二區(qū)域,其中該第一區(qū)域?qū)?yīng)該有源層,該第二區(qū)域?qū)?yīng)該有源層以外的區(qū)域,且該第一區(qū)域的粗糙度大于該第二區(qū)域的粗糙度。專利說明 薄膜晶體管基板 [0001]本實(shí)用新型涉及一種薄膜晶體管基板,尤其是一種能達(dá)到同時(shí)增加...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。