技術(shù)編號：7066513
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種GaN基UV探測傳感器，包括襯底，其特征是在所述襯底上表面依次設(shè)置U-GaN層、AlGaN層和N型GaN層，在N型GaN層上表面分別設(shè)置歐姆電極和肖特基電極。所述歐姆電極為Ti/Al/Ti/Au金屬層。所述肖特基電極的材質(zhì)為金屬Pt。所述歐姆電極與肖特基電極之間存在一定距離。所述襯底為藍寶石襯底。本實用新型有效降低了傳感器的漏電流，提高了傳感器的響應(yīng)度；并且生產(chǎn)工藝簡單、需求設(shè)備少、成本低。專利說明GaN基UV探測傳感器[0001]本實用...
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