技術(shù)編號(hào):7062999
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種發(fā)光二極管外延片的生長(zhǎng)方法,屬于半導(dǎo)體,包括提供一襯底;依次在襯底上生長(zhǎng)低溫緩沖層、高溫緩沖層、N型層、有源層以及電子阻擋層;生長(zhǎng)由不摻雜的本征GaN層、摻雜的GaN粗化層和凹形摻雜GaN層組成的P型層,凹形摻雜GaN層的生長(zhǎng)溫度高于本征GaN層,本征GaN層的生長(zhǎng)溫度高于GaN粗化層,GaN粗化層使用第一濃度Mg進(jìn)行摻雜,凹形摻雜GaN層先采用第二濃度Mg進(jìn)行摻雜,再采用第三濃度Mg進(jìn)行摻雜,最后采用第一濃度Mg進(jìn)行摻雜,第一濃度>...
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