技術(shù)編號(hào)：7060973
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供。在通過加壓來接合基板的情況下，基板面內(nèi)的壓力均勻性成為問題。提供一種加壓模塊，該加壓模塊具備工作臺(tái)，該工作臺(tái)具有載置被加壓體的載置面；壓力可變部，該壓力可變部使上述載置面的面內(nèi)的壓力分布可變；多個(gè)壓力檢測(cè)部，該多個(gè)壓力檢測(cè)部對(duì)上述壓力可變部的壓力進(jìn)行檢測(cè)。上述壓力可變部也可以具備控制部，該控制部基于由上述多個(gè)壓力檢測(cè)部檢測(cè)出的壓力，對(duì)上述載置面的面內(nèi)的壓力分布進(jìn)行變更。專利說明[0001]本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2010年09月28日、申請(qǐng)?zhí)枮?010...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。