技術(shù)編號(hào)：7058338
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了；柵電極包括n個(gè)依次成階梯狀排列的柵電極單元，每個(gè)柵電極單元為柱狀結(jié)構(gòu)，由連通電極和包圍在連通電極周圍的絕緣側(cè)壁構(gòu)成；所述連通電極的上表面用于連接?xùn)艑?，下表面用于連接字線。本發(fā)明適用于在字線等前道工藝完成后制備連接?xùn)艑拥碾姌O結(jié)構(gòu)。此電極結(jié)構(gòu)呈階梯狀連接不同堆疊層且相對(duì)應(yīng)的柵層，對(duì)疊層中非相對(duì)應(yīng)的柵層與柵電極之間通過(guò)絕緣層隔離。專利說(shuō)明 [0001] 本發(fā)明屬于微電子器件，更具體地，涉及一種非易失性三維半導(dǎo)體存儲(chǔ) 器的柵電極及其制備方法。 ...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。