技術(shù)編號：7057865
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明適用于微顯示驅(qū)動面板制備工藝領域，提供了一種微顯示驅(qū)動面板制備方法，所述方法包括硅襯底及集成電路器件制備；通過等離子增強化學氣相淀積PECVD方法生長介質(zhì)；對所述介質(zhì)進行化學機械拋光CMP；鋁布線步驟；刻通孔；濺射Ti/TiN和鎢，反刻鎢，形成鎢塞；制備鏡面反射電極；制備薄盒，灌裝液晶。本發(fā)明提供的LCOS微顯示驅(qū)動面板制備工藝具有如下有益效果本發(fā)明用銀代替鋁制備鏡面反射電極，提高了鏡面反射電極反射率和抗氧化性，另外，亦可降低由于鋁刻蝕工藝所形成的臺...
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