技術編號:7053706
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種集成電路結構,特別是涉及一種可提高空間利用率的測試用集成電路。背景技術在晶片制作完成后、切割封裝前,常用一種晶片接受度測試(WaferAcc印tance Testing, WAT)的方法,來量測晶片上的半導體元件的成品率。此方法為,在晶片的管芯 (die)周圍,也就是鏡片上具有多個相互平行于垂直的切割道(Scribe line)上,會特別提供多個測試鍵(Testkey)。這些測試鍵會再經(jīng)由焊墊(I^d)來電學連接至外部的電路或探測卡(Prob...
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