技術(shù)編號(hào):7046874
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明得到一種,其能夠使ESD耐量提高,并且使對(duì)溫度的靈敏度提高。在半導(dǎo)體襯底(1)的正面上形成有氧化膜(16)。在該氧化膜(16)上形成有溫感二極管(17)。形成有從半導(dǎo)體襯底(1)的正面向內(nèi)部延伸的溝槽(25)。在該溝槽(25)內(nèi)隔著氧化膜(26)填入有溝槽電極(27)。溝槽電極(27)與溫感二極管(17)連接。專利說(shuō)明 [0001] 本發(fā)明涉及具有對(duì)半導(dǎo)體襯底的溫度進(jìn)行檢測(cè)的溫感二極管的 [0002] 。 背景技術(shù) [0003] 在 IP...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。