技術(shù)編號(hào)：7045218
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種硅氧化膜的形成方法以及硅氧化膜的形成裝置。一種硅氧化膜的形成方法，在該形成方法中進(jìn)行一次以上組合工序，該組合工序包括如下工序待機(jī)工序，將被處理體收納／回收到舟皿內(nèi)；裝載工序，將收納在上述舟皿內(nèi)的被處理體收納到反應(yīng)室內(nèi)；硅氧化膜形成工序，在收納于上述反應(yīng)室內(nèi)的被處理體形成硅氧化膜；卸載工序，將形成有上述硅氧化膜的被處理體輸送到上述反應(yīng)室外，其中，在上述卸載工序、上述待機(jī)工序以及上述裝載工序的至少1個(gè)工序中，在對(duì)上述反應(yīng)室內(nèi)進(jìn)行加熱的同時(shí)，向該反...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。