技術(shù)編號：7042280
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。鋁化合物由下式1表示。在式1中，X為由以下式2或式3表示的官能團。專利說明[0001]相關(guān)申請的交叉引用[0002]將2013年2月25日在韓國專利局提交的且題為“”的韓國專利申請N0.10-2013-0019559全部引入本文中作為參考。[0003]實例實施方式涉及。發(fā)明內(nèi)容[0004]實施方式涉及由下式I表示的招前體，[0005]權(quán)利要求1.由下式I表示的鋁化合物， 2.形成薄膜的方法，所述方法包括 將沉積源提供到基材上，所述沉積源包括由下式I表示...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。