技術(shù)編號:7041763
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明為。半導(dǎo)體裝置具備n型第一GaN系半導(dǎo)體層;p型第二GaN系半導(dǎo)體層,位于第一GaN系半導(dǎo)體層上,具有第一GaN系半導(dǎo)體層側(cè)的低雜質(zhì)濃度區(qū)域和第一GaN系半導(dǎo)體層相反側(cè)的高雜質(zhì)濃度區(qū)域;n型第三GaN系半導(dǎo)體層,位于第二GaN系半導(dǎo)體層的與第一GaN系半導(dǎo)體層相反的一側(cè);柵電極,一端位于第三GaN系半導(dǎo)體層或第三GaN系半導(dǎo)體層上方,另一端位于第一GaN系半導(dǎo)體層,經(jīng)由柵極絕緣膜與第三GaN系半導(dǎo)體層、低雜質(zhì)濃度區(qū)域及第一GaN系半導(dǎo)體層相鄰;第三G...
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