技術(shù)編號：7037897
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。在使用氧化物半導(dǎo)體材料的鰭型結(jié)構(gòu)晶體管中抑制閾值電壓向負方向漂移或S值增高等的電特性的不均勻。氧化物半導(dǎo)體膜隔著絕緣膜夾在多個柵電極之間。具體而言，覆蓋第一柵電極的第一柵極絕緣膜；接觸于該第一柵極絕緣膜并越過第一柵電極的氧化物半導(dǎo)體膜；至少覆蓋該氧化物半導(dǎo)體膜的第二柵極絕緣膜；以及接觸于該第二柵極絕緣膜的一部分并越過第一柵電極的第二柵電極。專利說明 [0001] 本發(fā)明涉及一種。在本說明書中，半導(dǎo)體裝置是指半導(dǎo) 體元件本身或者包括半導(dǎo)體元件的裝置，作...
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