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掩模調(diào)整單元、掩模裝置以及掩模的制造裝置和制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7037430

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本發(fā)明提供一種能夠適當(dāng)?shù)卣{(diào)整掩模圖案的位置的諸如掩模調(diào)整單元等技術(shù)。這種掩模調(diào)整單元設(shè)置有基體、可動(dòng)部件和調(diào)整機(jī)構(gòu)??蓜?dòng)部件支撐具有外緣部的掩模主體的外緣部側(cè)并可移動(dòng)地設(shè)置在基體上。調(diào)整機(jī)構(gòu)將從掩模主體的外緣部拉向掩模主體的外側(cè)的張力和從外緣部壓向掩模主體的內(nèi)側(cè)的壓力經(jīng)由可動(dòng)部件施加到由可動(dòng)部件支撐的掩模主體上。專利說(shuō)明 [0001]本技術(shù)涉及一種調(diào)整施加到沉積等用的掩模上的應(yīng)力的掩模調(diào)整單元、其上安裝有掩模調(diào)整單元的掩模裝置以及掩模裝置的制造裝置和...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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