技術(shù)編號(hào):7037153
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。在半導(dǎo)體裝置中,溝槽(5)具有第1溝槽(5a),在基極層(4)的表面具有開口部;第2溝槽(5b),與第1溝槽(5a)連通,對(duì)置的側(cè)壁的間隔比第1溝槽(5a)的對(duì)置的側(cè)壁的間隔長(zhǎng),并且底部位于漂移層(3)。與第1溝槽(5a)結(jié)合的第2溝槽(5b)的結(jié)合部(5c)的壁面帶有圓度。據(jù)此,能夠抑制在第1溝槽(5a)與第2溝槽(5b)之間的結(jié)合部(5c)的附近發(fā)生較大的電場(chǎng)集中。此外,當(dāng)電子被從溝道區(qū)域向漂移層(3)供給時(shí),能夠抑制電子的流動(dòng)方向在結(jié)合部(5c)的附...
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