技術(shù)編號：7035489
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種干法刻蝕機夾具座。其技術(shù)方案是包括酸槽、左下支架、第一聚偏氟乙烯管、右下支架、左上支架、第二聚偏氟乙烯管、右上支架，所述的酸槽的中部安設有左下支架、右下支架、左上支架、右上支架，所述的左下支架和右下支架上固定第一聚偏氟乙烯管，所述的左上支架、右上支架上固定第二聚偏氟乙烯管；所述的第一聚偏氟乙烯管和第二聚偏氟乙烯管組成刻蝕平面。有益效果是通過夾具座的改造，硅片在放置的過程中整齊的程度得到了保障，從而保障了硅片在干刻過程中刻蝕邊緣的寬度，極大...
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