技術(shù)編號(hào)：7023837
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型提供一種水膜生成裝置，它由水箱、PLC、直流電源、中間繼電器、時(shí)間繼電器、傳感器、供水管、電磁閥、滴水管、滴水管箱組成；水箱通過供水管與滴水管連接，電磁閥設(shè)在供水管中，滴水管設(shè)在滴水管箱下部，傳感器設(shè)在滴水管箱側(cè)壁，PLC分別與傳感器、直流電源、中間繼電器電連接，中間繼電器與時(shí)間繼電器電連接，時(shí)間繼電器與電磁閥電連接。它的效果在于能在硅片正面表面生成一均勻的拱狀水膜，該拱狀水膜有很好的張力，可以阻止酸液對(duì)硅片邊緣的侵蝕，防止刻蝕邊的產(chǎn)生，提高硅片...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。