技術(shù)編號:7019335
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。背景技術(shù)晶體管是種類繁多的集成電路中常見的半導(dǎo)體器件。晶體管基本上是開關(guān)。當(dāng)對晶體管柵極施加大于閾值電壓的電壓時,該開關(guān)導(dǎo)通,電流流過晶體管。當(dāng)柵極上的電壓小于閾值電壓時,該開關(guān)關(guān)斷,電流不會流過晶體管。傳統(tǒng)上,晶體管柵極為多晶硅柵扱。具有多晶硅柵極的晶體管相對容易制造,并且具有多晶硅柵極的晶體管的運行效果是公知的。但是,由于包括晶體管的集成電路的功耗和運行速度被優(yōu)化,因此,最近晶體管已為金屬柵極。具有金屬柵極的晶體管可通過兩種一般方法制造??梢韵戎圃於嗑?..
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