技術編號：7014097
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供一種TFT電性量測方法及裝置，其中TFT電性量測方法包括提供兩個分別與源漏極金屬相連的源漏極測試單元和一個與柵極金屬相連的柵極測試單元；在柵極測試單元上施加第一電壓，在兩源漏極測試單元兩端施加第二電壓，使與源漏極金屬相接觸的摻雜型非晶硅半導體導通；以及量測兩源漏極測試單元之間的電流。實施本發(fā)明實施例，一方面可以方便快捷地得出源漏極金屬與摻雜型非晶硅半導體之間的歐姆接觸電阻，另一方面通過所量測的電流變化，可以了解該歐姆接觸電阻的變化，以便于監(jiān)控TF...
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