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一種具有高維持電流的環(huán)形vdmos結(jié)構(gòu)的esd保護(hù)器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7013543

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一種具有高維持電流的環(huán)形VDMOS結(jié)構(gòu)的ESD保護(hù)器件,可用于片上IC高壓ESD保護(hù)電路。主要由P襯底,N埋層,P下沉摻雜,N阱,P阱,第一P+注入?yún)^(qū),第一N+注入?yún)^(qū),第二N+注入?yún)^(qū),第二P+注入?yún)^(qū),第三N+注入?yún)^(qū),第四N+注入?yún)^(qū),第五P+注入?yún)^(qū),多晶硅柵,柵薄氧化層和若干場(chǎng)氧隔離區(qū)構(gòu)成。該環(huán)形VDMOS結(jié)構(gòu)的ESD保護(hù)器件在高壓ESD脈沖作用下,一方面可形成上、下、左、右四面導(dǎo)通的ESD電流路徑,以提高VDMOS器件內(nèi)部電流導(dǎo)通均勻性、降低導(dǎo)通電阻,提高...
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