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具有熔絲圖案的半導體器件的制作方法技術資料下載

技術編號:7013267

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本發(fā)明公開了具有熔絲圖案的半導體器件,該半導體器件通過防止經(jīng)由修復工序切斷的熔絲由于電化遷移而重新電連接來提高可靠性。該半導體器件包括襯底;熔絲,所述熔絲包括第一熔絲圖案和第二熔絲圖案,所述第一熔絲圖案和所述第二熔絲圖案形成在所述襯底上并位于相同水平面上,并且所述第一熔絲圖案和所述第二熔絲圖案以第一寬度彼此間隔開,使得所述熔絲中的間隙位于所述第一熔絲圖案與所述第二熔絲圖案之間的第一位置;以及第一絕緣層,所述第一絕緣層形成在所述第一熔絲圖案和所述第二熔絲圖案...
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