技術(shù)編號:7012690
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般涉及利用絕緣體上硅(SOI)高帶寬電路的方法、集成電路結(jié)構(gòu)以及設(shè)計結(jié)構(gòu),特別地,涉及利用離子注入結(jié)合圍繞有源結(jié)構(gòu)而形成的柵格(lattice)溝槽以消除晶片與氧化物層之間的電荷層的形成的實施例。背景技術(shù)如同Kerr 等人在 IEEE, 2008 所發(fā)表的 “ Identif ication of RF HarmonicDistortion on Si Substrates and its Reduction Using a Trap-Rich L...
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