技術(shù)編號：7010225
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種，可供在承載晶舟中汲取單片太陽能晶圓，且承載晶舟都形成有多個水平置放槽，供太陽能晶圓水平置放在水平置放槽內(nèi)，而水平取放系統(tǒng)包括，吸附取放裝置、驅(qū)動裝置及處理裝置，吸附取放裝置是供吸附/去除吸附太陽能晶圓，當(dāng)吸附取放裝置受驅(qū)動裝置驅(qū)動，汲取或放置太陽能晶圓至水平置放槽內(nèi)時，會受處理裝置控制，對太陽能晶圓的吸附程度會維持低壓吸力狀態(tài)，當(dāng)太陽能晶圓從承載晶舟汲取出，或是尚未進(jìn)入承載晶舟的移載過程中，則對太陽能晶圓的吸附程度會維持高壓吸力狀態(tài)。專利說明[000...
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