技術(shù)編號:7008385
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供了一種沉積裝置和掩模組件,所述沉積裝置包括掩??蚣?,具有框架開口;掩模,結(jié)合到掩模框架的上表面并且被構(gòu)造為覆蓋框架開口;延伸構(gòu)件,被布置在框架開口的邊緣的至少一部分上,并且被構(gòu)造為從掩??蚣艿纳媳砻嫱怀霾⑹寡谀5呐c框架開口相對應(yīng)的第一部分的豎直距離比掩模的與掩模框架的上表面接觸的第二部分的豎直距離大,每個豎直距離均是從掩模框架的上表面測量的。專利說明沉積裝置和應(yīng)用于沉積裝置的掩模組件 [0001] 下面的描述涉及一種沉積裝置和一種應(yīng)用于該沉...
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