技術(shù)編號:7005184
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體產(chǎn)品測試技術(shù),尤其涉及一種晶圓測試方法及裝置。 背景技術(shù)近年來半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展,大量產(chǎn)品投入市場,不僅刺激了半導(dǎo)體設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步,芯片的封裝測試領(lǐng)域也隨之不斷進(jìn)行技術(shù)革新。半導(dǎo)體測試包括CP(Circuit Probe) 測試和FT (Final Test), CP (Circuit Probe)測試也稱晶圓測試(wafer test),是半導(dǎo)體產(chǎn)品后道封裝測試的第一步,目的是將硅片中的不良芯片挑選出來。晶圓通常指制作集成電路所用的硅...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲(chǔ)備,不適合論文引用。