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半導(dǎo)體裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6997898

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本發(fā)明涉及將多指型(multi finger type)(梳狀)MOS型晶體管用作ESD保護(hù)元件的半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù)在具有MOS型晶體管的半導(dǎo)體裝置中,作為用于防止因來(lái)自外部連接用端子 (PAD)的靜電而導(dǎo)致內(nèi)部電路發(fā)生損壞的ESD保護(hù)元件,已知有將N型MOS晶體管的柵極電位固定于地(Vss)而設(shè)置為截止?fàn)顟B(tài)的所謂的截止晶體管。與構(gòu)成其它邏輯電路等內(nèi)部電路的MOS型晶體管不同,截止晶體管需要瞬間流過(guò)因大量靜電引起的電流,因而大多由具有數(shù)百微米左右的較大柵...
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