技術(shù)編號(hào):6997119
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體元件領(lǐng)域,尤其涉及一種半導(dǎo)體薄膜晶體管。背景技術(shù)半導(dǎo)體薄膜晶體管一般包括柵極、柵極絕緣層、通道層及源極/漏極等膜層結(jié)構(gòu), 其通常在顯示器,如液晶顯示器中,作為開(kāi)關(guān)元件使用。如圖1和圖2所示,傳統(tǒng)的半導(dǎo)體薄膜晶體管100包括基底層(圖中未示)、設(shè)于基底層上的氧化鋁柵極層(圖中未示)、設(shè)于氧化鋁柵極層上的鋁引線層110、以及設(shè)于氧化鋁柵極層及鋁引線層Iio上的用于形成源極的導(dǎo)電層120。鋁引線層110在鍍膜完成后,需要對(duì)其進(jìn)行進(jìn)一步的加工處理,...
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