技術(shù)編號：6995660
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及具有載置各個基板并且搬送編號順序已被確定的模塊組，基板依次從模塊組中編號順序較小的模塊被搬送至編號順序較大的模塊而進(jìn)行規(guī)定的處理的基板處理裝置、基板處理方法和存儲介質(zhì)。背景技術(shù)用于在基板上形成抗蝕劑圖案的涂敷、顯影裝置包括作為搬送基板的搬送容器的基板載體被搬入的載體塊；包括在基板上形成抗蝕劑膜的塊和對曝光后的基板進(jìn)行顯影的塊的處理塊；和與曝光裝置連接的接口塊。例如，在專利文獻(xiàn)1記載有下述結(jié)構(gòu)作為將涂敷膜形成于基板的塊，用于將反射防止膜形成于基板的...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。