技術編號：6993132
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體功率器件和集成電路，特別是涉及一種用于功率集成電路或射 頻功率集成電路的SOI (Semiconductor On hsulator，絕緣襯底上半導體)橫向MOSFET (Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect- ^Transistor，金屬-氧化物-半導體場效應 晶體管)器件和具備其的集成電路。背景技術SOI是在頂層半導體(稱為有源層)和襯底層(可以為半導體或絕緣介質)之間引 入介質埋層，將半導體器件...
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