技術(shù)編號(hào):6992236
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的涉及一種半導(dǎo)體裝置。注意,在本文半導(dǎo)體裝置是指通過(guò)利用半導(dǎo)體特性操作的一般元件及裝置。背景技術(shù)金屬氧化物的種類繁多且這樣的金屬氧化物被用于各種應(yīng)用。例如,氧化銦是公知的材料,并已經(jīng)被用作液晶顯示裝置等中所需的透明電極。一些金屬氧化物具有半導(dǎo)體特性。具有半導(dǎo)體特性的這種金屬氧化物的示例,例如有氧化鎢、氧化錫、氧化銦、氧化鋅等。并且已知其中使用這種金屬氧化物形成溝道形成區(qū)的一種薄膜晶體管(例如,參照專利文獻(xiàn)I至專利文獻(xiàn)4、非專利文獻(xiàn)I等)。作為金屬氧化...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。