技術編號：6992185
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本文中所公開的發(fā)明涉及包含不同半導體材料的半導體器件、以及用于制造半導體器件的方法。背景技術存在各種各樣的金屬氧化物，并且這些金屬氧化物用于各種應用。氧化銦是公知的材料，并且被用作液晶顯示設備等所需的透明電極的材料。ー些金屬氧化物具有半導體特性。具有半導體特性的這些金屬氧化物的示例包括氧化鎢、氧化錫、氧化銦、氧化鋅等。已知其中使用這種金屬氧化物形成溝道形成區(qū)的薄膜 晶體管(參見例如專利文獻I至4、非專利文獻I等)。金屬氧化物的示例不僅包括單組分氧化物，而且...
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