技術編號：6991850
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是關于一種。本申請根據(jù)2009年12月16日在日本申請的日本特愿2009-285412號及日本特愿2009-285413號主張優(yōu)先權，并將其內容援引于此。背景技術、在平板顯示器等的電子元件的工藝中，使用曝光裝置或檢查裝置等大型基板的處理裝置。在使用此等處理裝置的曝光步驟、檢查步驟，使用將大型基板(例如玻璃基板)搬送至處理裝置的下述專利文獻所揭示的搬送裝置。專利文獻I 日本特開2004-273702號公報發(fā)明內容例如在專利文獻I所揭示的上述大型基板的搬...
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