技術(shù)編號:6991322
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于液晶顯示裝置、有機電致發(fā)光顯示裝置、抗靜電導(dǎo)電膜涂層、氣敏傳感器及太陽能電池等的透明導(dǎo)電膜及利用該透明導(dǎo)電膜的太陽能電池和用于形成該透明導(dǎo)電膜的濺射靶以及制造濺射靶的方法,尤其涉及一種在用作太陽能電池用透明導(dǎo)電膜時長期顯示出優(yōu)異的耐濕性的透明導(dǎo)電膜及用于形成該透明導(dǎo)電膜的濺射靶。背景技術(shù)目前,作為用于液晶顯示裝置、電致發(fā)光顯示裝置、抗靜電導(dǎo)電膜涂層、氣敏傳感器及太陽能電池等的透明導(dǎo)電膜的一種,已知有由Al-Mg-Zn系氧化物構(gòu)成的透明導(dǎo)電...
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