技術(shù)編號：6990463
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。使用結(jié)合選擇性外延生長的混合定向技術(shù)(HOT)提高遷移率的方法及相關(guān)設(shè)備本發(fā)明大體上針對集成電路。更特定來說，本發(fā)明針對使用結(jié)合選擇性外延生長的混合定向技術(shù)(HOT)來提高遷移率的方法及相關(guān)設(shè)備。背景技術(shù)互補型金屬氧化物半導(dǎo)體(CM0Q電路通常形成在具有(100)結(jié)晶定向的硅襯底上?；旌隙ㄏ蚣夹g(shù)(HOT)使用單個襯底上的不同的結(jié)晶定向。舉例來說，混合定向技術(shù)可將(100)結(jié)晶定向襯底與在相同的半導(dǎo)體晶片上的(110)結(jié)晶定向襯底混合。此通常經(jīng)進行以幫助提高...
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