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具金屬-絕緣體-金屬電容器之集成半導體產(chǎn)品的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6990128

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本發(fā)明系相關于一種具有互連以及一金屬-絕緣體-金屬電容器之集成半導體產(chǎn)品,本發(fā)明系特別相關于具有包括鋁以作為一必要結(jié)構(gòu)成分的互連的一集成半導體產(chǎn)品。在BIPOLAR、BICMOS、以及CMOS技術(shù)中的高頻電路,其系需要具有一高電壓線性(voltage linearity)、準確之可設定電容值、以及特別是低寄生電容值的集成電容器,但該等已經(jīng)被使用至今的已知MOS或MIS電容器,則是由于電壓感應之空間電荷區(qū)域(voltage-induced space cha...
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