技術(shù)編號：6989341
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于處理基質(zhì)(Substrat)的方法，尤其用于光電模塊的制造，以及一種適合用于執(zhí)行該方法的裝置。背景技術(shù)在光電技術(shù)以及特別是電路板技術(shù)中，借助于生產(chǎn)溶液(Prozessloesimg)從相應(yīng)的基質(zhì)除去防蝕層(Resist-Schicht)。在此，部分地應(yīng)用了生產(chǎn)溶液，其起泡沫或者與抗蝕劑或其它的材料(它在清潔時(shí)與這些材料相接觸)相結(jié)合導(dǎo)致了泡沫形成。這樣的抗蝕劑為蠟狀的所謂的熱熔體或者熱墨或聚合物或者顏料，其可借助于印刷機(jī)或照相平板印刷術(shù)以...
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