技術(shù)編號(hào)：6988767
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明針對(duì)的是流體遞送系統(tǒng)，更具體地說(shuō)針對(duì)的是用于半導(dǎo)體處理和石化工業(yè)的表面貼裝的極限流速和/或高溫流體遞送系統(tǒng)。背景技術(shù)流體遞送系統(tǒng)被用于許多用來(lái)調(diào)整和操縱流體流的現(xiàn)代工業(yè)程序提供所需物質(zhì)進(jìn)入該程序的控制準(zhǔn)入。從業(yè)者已經(jīng)研發(fā)一種完整的流動(dòng)遞送系統(tǒng)，該系統(tǒng)有可移動(dòng)地附著到流動(dòng)基體上包含流動(dòng)路徑導(dǎo)管的流體轉(zhuǎn)運(yùn)部件。這樣的流動(dòng)基體的安排建立一種流動(dòng)序列，借助該流動(dòng)序列流體轉(zhuǎn)運(yùn)部件提供所需的流體調(diào)整和控制。在這樣的流動(dòng)基體和可移去的流體轉(zhuǎn)運(yùn)部件之間的接口是標(biāo)準(zhǔn)化...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。