技術(shù)編號：6987810
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種混合金屬(鍶-鈦)氧化物，例如鍶-鉿-鈦氧化物和鍶-鋯-鈦氧化物，涉及包含該混合金屬氧化物的功能器件，涉及其作為一種電介質(zhì)(例如高k電介質(zhì))成為或在電氣、電子、磁力、機械、光學(xué)或熱器件之中的使用，還涉及制備包含該混合金屬氧化物的功能器件的方法。背景技術(shù)MOS (金屬-氧化物-半導(dǎo)體)場效應(yīng)晶體管器件內(nèi)的二氧化硅(SiO2)柵極層可以用具有更高介電常數(shù)(高k)的氧化物材料代替。然而，只有很少的氧化物材料滿足介電常數(shù)、熱穩(wěn)定性和帶隙的要求，同時還...
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